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» 2014年04月10日 17時30分 UPDATE

FAニュース:オプトサイエンス、独ATLレーザーテクニックの産業用空冷エキシマレーザを発売

高安定性、高信頼性、長寿命、優れたメンテナンス性を実現。自動ガス交換機能あり。

[MONOist]

 オプトサイエンスは、独ATLレーザーテクニック製の「ATLEX-I シリーズ」の取り扱いを開始した。オールソリッドステートスイッチ、コロナ予備電離(OPEC)、メタル-セラミックチューブの採用により、高安定性、高信頼性、長寿命、優れたメンテナンス性を実現した産業用空冷エキシマレーザだ。

 サイラトロンを使用しない固体スイッチ回路オールソリッドステートスイッチを採用したことで、従来必要だったサイラトロン交換を不要にした。また真空ポンプ+4バルブシステム、ハロゲンガスフィルタを内蔵しており、レーザ制御ユニットが自動でガス交換を行う(プリミックガス、Heパージガスのバルブ操作などはユーザー自身が行う必要がある)。High Voltage(電圧安定化モード)、Energy(パルスエネルギー安定化モード)、ESP(部分ガス自動交換 エネルギー安定化モード)の3種の安定化モードを備えている。

 レーザ波長は、F2(157nm)、ArF(193nm)、KrF(248nm)、XeCl(308nm)、XeF(351nm)で、パルスエネルギーは1〜15mJ、平均パワーは0.2〜10W。主な用途は、レーザ微細加工、レーザ分光、医療、FBG製作など。

photo 「ATLEX-I シリーズ」

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