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» 2014年10月16日 11時00分 UPDATE

FAニュース:島津製作所、微細加工に適したファイバー結合型の高輝度青色半導体レーザー発売

金属への吸収率が高い450nmの短波長において、従来の16倍となる輝度を可能にした。スポットサイズはφ100μmと極小のため、基板の配線パターン加工・半導体薄膜加工などの微細加工、3Dプリンタなどに利用できる。

[MONOist]

 島津製作所は2014年10月14日、微細加工に適した10W出力のファイバー結合型高輝度青色半導体レーザー「HK-5650」を発売した。同時に、オキサイドの連続発振266nm深紫外固体レーザー「Frequad」シリーズの販売も開始し、高出力/高輝度短波長レーザーのラインアップを拡充する。

 HK-5650は、金・銅などの金属への吸収率が高い450nmの短波長において、従来の16倍となる輝度を可能にした。スポットサイズはφ100μmと極小のため、基板の配線パターン加工・半導体薄膜加工などの微細加工、3Dプリンタなどに利用できる。

photo ファイバー結合型高輝度青色半導体レーザーHK-5650

 また、青色半導体レーザを直接レーザ加工に用いることで、固体レーザー・ファイバーレーザーを使う固体グリーンレーザーよりも安価で、消費電力も半分程度に低減した。炭酸ガスレーザー・固体グリーンレーザーと比べ、メンテナンス性にも優れている。

 価格は250万円(税別)で、発売から1年間で50台の販売を目指す。

 同時に発売されたFrequadシリーズは、オキサイドが開発・製造する短波長のUV領域のレーザー。0.005pm以下の狭スペクトル幅の単一波長光源のため、分析計測装置・半導体検査装置の光源に適している。ラインアップは、出力10mW〜2Wまでの4種類で、広い用途に対応できる。

photo 深紫外固体レーザFrequad-C(出力20mWタイプ)

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