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» 2015年04月01日 07時00分 UPDATE

FAニュース:最大360×360mm対応の2軸対向配置型セミオートマチックダイシングソー

ディスコは、最大ワークサイズ360×360mm対応のデュアルスピンドル(2軸対向配置型)セミオートマチックダイシングソー「DAD3660」を開発した。複数のパッケージ基板を1枚のテープフレームに貼り付けて加工できる。

[MONOist]

 ディスコは2015年3月13日、最大ワークサイズ360×360mm対応のデュアルスピンドル(2軸対向配置型)セミオートマチックダイシングソー「DAD3660」を発売したと発表した。

 DAD3660は、φ300mmワークに標準対応した大型ワーク向けのダイシングソーとなる。パッケージ基板などの多枚貼りが可能で、複数のパッケージ基板を1枚のテープフレームに貼り付けて加工できる。これにより、ワーク交換時間を短縮し、ダイシングテープの使用量も削減できる。

 また、2本のスピンドルで同時にダイシングするデュアルカットにより、同社従来機(1軸/φ300mm特殊対応機)に比べ、スループットを90%向上した。各軸の最高戻り速度は、X軸1000/Y軸400/Z軸で80mm/s。いずれも従来機と比べて高速化しているという。

 オプションとして、サブチャックテーブルを搭載することで、加工中にダイシングブレードをドレス(目立て)することも可能だ。フルサイズ(75×75mm)のドレッサボードに対応し、ブレードの目詰まりが生じやすいガラス基板などの硬脆材料や、樹脂・金属などの延性材料において、安定した加工品質を実現できるとしている。

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