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» 2015年04月09日 07時00分 UPDATE

FAニュース:シーケンサ接続に対応した非接触の膜厚測定装置を発売

浜松ホトニクスは、膜厚計「Optical NanoGauge」の新製品「C13027」を発売した。アナログ出力に対応したことで、シーケンサへの接続を容易にした。

[MONOist]

 浜松ホトニクスは2015年4月1日、膜厚計「Optical NanoGauge」の新製品「C13027」を発売した。

 C13027は、分光干渉法を用いた非接触の膜厚測定装置となる。同社従来製品をアナログ出力対応にしたことで、シーケンサへの接続を容易にした。また、装置内の分光器を小型化し、従来製品の「C12562」に比べて設置面積を約30%削減。これにより、インライン製造装置や検査装置への組み込みにも対応できる。

 さらに、入射する白色光の反射率から色計算をする、色計測機能を新たに搭載。膜厚測定に加え、フィルムやFPDの色むらの有無の確認を可能にした。同社独自の解析アルゴリズムも見直し、従来製品の2倍となる最速200Hzまでの高速測定が可能になっている。

 測定膜厚範囲は、同シリーズでは最も薄い10nmから100μmに対応した。測定波長範囲は400nm〜1100nm、スポットサイズは約φ1mm、計測時間は3ms/pointとなっている。

 本体・ソフトウェア・周辺機器を含む価格は、410万4000円(税込)。主に、国内外のフィルム・FPD・半導体の塗布・薄膜・成膜などの製造装置や検査装置メーカーを対象に販売するという。

photo 膜厚計Optical NanoGauge「C13027」

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