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» 2015年12月11日 16時00分 UPDATE

実装ニュース:“見えなかったモノが見える”ナノフォーカスX線検査システム

東芝ITコントロールシステムが設立15周年モデルとして、ラミノCTを搭載したX線ナノフォーカス検査システム「TXLamino」を発売する。メガピクセルX線検出装置と4Kカメラによる高分解能、高解像度が特徴だ。

[渡邊宏,MONOist]
X線ナノフォーカス検査システム「TXLamino」(CG) X線ナノフォーカス検査システム「TXLamino」(CG)

 東芝ITコントロールシステムは、高密度実装基板や各種電子部品の検査などに適した、斜めCT(ラミノCT)搭載のX線ナノフォーカス検査システム「TXLamino(ティーエックスラミノ)」を2016年1月13日より販売開始する。

 高密度基板の一般化を背景に非破壊検査機器の高機能および高解像度化が進む中、X線源もナノレベルへの要求が高まっていることを受けての製品化。TXLaminoはナノフォーカスのX線発生装置(X線照射寸法は0.25μm)と有効400万画素カメラを搭載し、品質管理や解析などの用途に適した高分解能・高解像度検査を可能としている。

 傾斜および回転時の視野中心自動追従機能を備え、ラミノCTによる断面の確認も可能だ(傾斜角度は任意)。試料テーブルのXYストロークは300×300mmで、回転ストロークは360度(水平回転)。操作性の向上と4Kモニターの採用により、利便性も向上している。直行CTについては試料テーブル交換による、オプションでの対応となる。

 新製品は2016年1月13日より開催される展示会「第33回 エレクトロテスト ジャパン」(総称:ネプコンジャパン 2016、東京ビッグサイト)の同社ブース(E18-36)にて展示される予定となっている。

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