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» 2016年06月20日 07時00分 UPDATE

FAニュース:製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラーを発売

アズビルは、製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラー「F4H」を発表した。電気電子部品の製造装置や理化学分野の各種分析装置・培養装置向けに機能を特化し、従来機種より体積比で50%小型化した。

[MONOist]

 アズビルは2016年6月6日、製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラー「F4H」を発表した。同社独自の高感度流速センサー「マイクロフローセンサ」を採用し、0.3secの高速制御を可能にした。

 F4Hは、電気電子部品の製造装置や理化学分野の各種分析装置・培養装置向けに機能を特化。加えて、小型バルブの採用や基板レイアウトの工夫により、従来機種に比べて体積比で50%小型化した。

 また、汎用のデジタル通信機能を標準で搭載している。RS485/Modbus RTUに対応したことで、他の機器と市販のLANケーブルで接続が可能。これにより、上位機器のアナログ入力モジュールやアナログ入力信号ごとの配線を不要とし、流量値に加え、バルブ駆動電流モニター・自己診断によるアラームなどの情報を容易に出力できる。

 ラインアップは、フルスケール流量(空気・窒素)が200ml/minの「F4H9200」、同500ml/minの「F4H9500」、2.00ml/minの「F4H0002」の3種で、価格は15万円から。同社では今後、対応通信規格を順次拡大するとしている。

photo 小型デジタルマスフローコントローラー「F4H」

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