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» 2018年09月04日 07時00分 公開

FAニュース:精密被検物を素早く測定する、シリーズ最高精度のCNC画像測定システム

ニコンは、CNC画像測定システム「NEXIV」シリーズ最高精度となる「NEXIV VMZ-H3030」を発表した。半導体パッケージや電子部品、機械部品など、精密な被検物の寸法を高速、高精度に自動測定する。

[MONOist]

 ニコンは2018年8月21日、CNC画像測定システム「NEXIV(ネクシブ)」シリーズ最高精度の「NEXIV VMZ-H3030」を発表した。価格は2200万円から(税別)。発売は同年10月1日を予定している。

 NEXIV VMZ-H3030は、同社独自の光学技術と画像処理技術により、半導体パッケージや電子部品、機械部品など、精密な被検物の寸法を自動で測定するCNC画像測定装置だ。

 高精度リニアエンコーダーと精密動作ステージにより測定精度が高く、毎秒30フレームの高速画像転送、短い光量調整時間で迅速に測定できる。また、高性能TTL(Through The Lens)レーザーオートフォーカス技術で、0.1mmレベルの透明サンプルの厚みを検出する。

 さらに、リング照明の角度調整機構により、エッジの検出技術が向上。複雑な形状をした機械部品やモールド部品、高密度プリント基板、半導体の300mmウエハーなど、最大30kgまでの被検物に広く対応する(精度保証値は10kg)。ストロークは300×300×150mmで、装置寸法は1000×1125×1750mm。質量は約500kgとなっている。

 操作性に優れたNEXIV VMZ-Rシリーズの各種ソフトウェアに対応し、「画面のカスタマイズ」や「オフラインティーチング」などの充実した機能を利用できる。画像の合成や解析、検査成績書の作成など、用途に合わせた機能追加も可能だ。

photo CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」(クリックで拡大) 出典:ニコン
photo 仕様表(クリックで拡大) 出典:ニコン

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