ニコンエンジニアリング、LEDなどの量産に適した縮小投影露光装置を開発：FAニュース

露光波長i-h線に対応した投影レンズと照明光学系を搭載したもので、LEDやMEMS、パワー半導体などの量産に適するという。

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　ニコンエンジニアリングは2014年12月1日、縮小投影露光装置「ミニステッパー NES1W-ih06/i06、NES2W-ih06/i06」の受注を開始すると発表した。露光波長i-h線に対応した投影レンズと照明光学系を搭載したもので、LEDやMEMS、パワー半導体などの量産に適しているという。

　今回開発された装置は、i線からh線までのブロードな波長領域の光を取り込むことで、照度が大幅に向上した。高いドーズ量が必要なプロセスにおいて、生産性を向上できる。

　また、新開発の投影レンズは、従来製品と同等の露光範囲22mm×22mmを確保しつつ、NAを0.11から0.13に拡大した。これにより、LED・MEMS・パワー半導体などの量産に必要な深い焦点深度と高解像度を両立させた。

　フットプリントは、150mmウエハー対応のNES1Wは約2.2m²、200mmのNES2Wは3.3m²で、世界最小レベルになるという。SEMI・CEマークなどの海外安全認証にも標準対応した。

　標準仕様の価格（税抜き）は、NES1W-ih06/i06が1億6800万円から、NES2W-ih06/i06が1億9800万円から。オプションとして、高精度な裏面アライメント機構、オートレチクルスライダ、デュアルエリアレチクル、照明系σ可変ユニットなどもある。

縮小投影露光装置「ミニステッパーNES2W-ih06」

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