　富士電機は2017年5月25日、サーボアンプモーター「富士サーボシステム ALPHA7」42形式と、モーションコントローラー「MICREX-SX」シリーズの「SPH3000D」4形式を発売した。今後、アジアを中心とした海外向けラインアップを拡充し、2018年度にはFAのモーション分野とFAシステムで300億円の売り上げを目指す。

　ALPHA7は、位置や速度、トルクの制御機能を搭載。同社従来比約2倍となる速度周波数応答3.2kHzにより、高速制御を可能にした。モーターの位置や速度を検出するセンサー（エンコーダー）の分解能も、従来の20ビットから24ビット（16,777,216パルス）に精度を高めた。

　SPH3000Dは、モーション制御のソフトパッケージ（ファンクションブロック）をCPUモジュールに内蔵することで、高速化に成功した。また、高速メモリ領域を従来機種の約7倍となる224Kワードに拡大。モーション制御を含む制御全体の処理能力が向上している。

　また、あらかじめ定められた順序で機械制御の各段階を自動化する「シーケンス制御」と、機械を動かす位置決め／速度／トルクをプログラムする「モーション制御」を1つのCPUモジュールで動作できる。最小の構成で高機能／高性能なモーションシステムを導入でき、コストダウンにもつながる。1つのプログラミングツールでシーケンス制御とモーション制御をサポートするため、作業効率が向上。さらに、独自の高速通信技術により、製品をケーブル1本で接続でき、省配線化が図れる。

　他に、国際標準規格「IEC61800-5-2」のSTO機能を標準で装備した。オプションでSS1、SLS、SBC、SSMにも対応。これらのセーフティ機能は、パラメーターで簡単に設定可能だ。半導体製造装置などの安全規格「SEMI-F47」への準拠も予定している。