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» 2020年12月17日 07時00分 公開

FAニュース:中小型ディスプレイ製造に適した解像力1.2μmのFPD露光装置、DUVを採用

キヤノンは、高精細中小型ディスプレイの製造に適した、FPD露光装置「MPAsp-E903T」を発表した。深紫外波長を発光できる初めてのFPD露光装置で、この新光源と新開発の投影光学系により、解像力1.2μmでの露光が可能だ。

[MONOist]

 キヤノンは2020年11月16日、高精細中小型ディスプレイの製造に適した、FPD(フラットパネルディスプレイ)露光装置「MPAsp-E903T」を発表した。同年11月下旬に発売する。

 MPAsp-E903Tは、中、小型ディスプレイの製造に用いる1500×1850mmの第6世代ガラス基板サイズに対応する。波長が変化しても色収差の影響が少ないというミラー光学系の利点を生かして、従来用いていた紫外光よりも波長が短いDUV(深紫外)波長を発光できる初めてのFPD露光装置となる。

キャプション FPD露光装置「MPAsp-E903T」(クリックで拡大) 出典:キヤノン

 この新光源と新開発の投影光学系により、解像力1.2μmでの露光が可能だ。位相シフトマスクなどの超解像技術を用いることで、解像力1.0μmの露光にも対応する。また、装置内のレイアウトと温度調節システムを改良し、オーバーレイ(重ね合わせ)精度が±0.25μmに向上。高精細化が進む次世代の中小型ディスプレイ製造に適している。

 露光モード数も増やしており、さまざまな回路パターンを適した条件で効率的に照射できる。また、従来機種「MPAsp-E813H」とフォトマスクの大きさやインタフェースが共通であるため、組み合わせて使うことで、生産ラインを柔軟に構築できる。

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