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» 2021年07月21日 07時00分 公開

半導体製造向け、アンモニア水や特定有機溶媒に対応する新型溶存酸素計FAニュース

堀場アドバンスドテクノは、半導体製造向けに、新型の溶存酸素計「HD-960LR」を発売した。センサー内部に新機構を追加することで電解液の変質を抑え、アンモニア水や特定の有機溶媒にも対応可能になった。

[MONOist]

 堀場アドバンスドテクノは2021年7月1日、対応可能な薬液種を拡大した、半導体製造向けの溶存酸素計「HD-960LR」を発売した。センサー内部に新機構を追加することで電解液の変質を抑え、アンモニア水や特定の有機溶媒にも対応可能になった。

 HD-960LRは、センサーユニット、ボトルユニット、変換器で構成され、薬液中の溶存酸素を高精度に連続モニタリングする。

キャプション 左から、センサーユニット、ボトルユニット、変換器(クリックで拡大) 出典:堀場アドバンスドテクノ

 センサー内部の新機構に加え、センサーの交換周期を約1年と長期化したことで、従来は困難だったアンモニア濃度1%以下のアンモニア水、水より沸点が高い有機溶媒の溶存酸素濃度を計測できる。従来製品に比べ、超純水は約1.3倍、アンモニア水は約70倍も長寿命化している。

キャプション 薬液を排出させる場合の測定フロー図(クリックで拡大) 出典:堀場アドバンスドテクノ
キャプション 薬液を循環させる場合の測定フロー図(クリックで拡大) 出典:堀場アドバンスドテクノ

 サイズは、センサーユニットが200×95×135mm、ボトルユニットが179×211×123mm、変換器が96×96×115mm 、パネルマウント時のケース奥行きは約105mm。質量はセンサーユニットが約1.7kg、ボトルユニットが約1.6kg(内部液の質量は含まず)、変換器が約550gとなる。

 半導体の微細化や高性能化に伴い、半導体の製造時に使用される薬液が多様化している。これによって薬液中に溶解した酸素の影響を受ける薬液も増加しており、薬液中の溶存酸素の高精度な測定が求められていた。

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