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» 2021年09月21日 06時30分 公開

JSRが米国のEUV用メタルレジストメーカーを買収、EUVフォトレジストを強化製造マネジメントニュース

JSRは2021年9月17日、米国の次世代EUV用メタルレジストメーカーであるInpria(インプリア)の79%分の株式を追加取得し、従来取得済みの21%と合わせて完全子会社化することを発表した。

[MONOist]

 JSRは2021年9月17日、米国の次世代EUV用メタルレジストメーカーであるInpria(インプリア)の79%分の株式を追加取得し、従来取得済みの21%と合わせて完全子会社化することを発表した。

 半導体製造に使用される最先端リソグラフィー工程では、EUV技術の活用が広がっている。今後の半導体製造においては、3nm、2nm世代など微細化がさらに進み、高解像度のEUVフォトレジストが必要とされている。JSRでは以前からEUV向けフォトレジストで高い信頼性により採用を広げていたが、今後の微細化に向けた有望素材として注目されるメタルレジストの強化に向けて今回インプリアの買収を決めた。

photo EUVリソグラフィーのロードマップ(クリックで拡大)出典:JSRの発表資料

 インプリアは、2007年の設立以降、メタルEUVレジストの開発に取り組んでおり、主要製品であるスズ酸化物を主成分とするメタルレジストは、EUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成している。さらに、従来のレジストに比べ、ドライエッチング時のパターン転写性能が高く半導体量産プロセスでも優れた適正を示している。今回の買収完了は2021年10月末の予定だが、その後JSRではインプリアのメタルレジストを製品ポートフォリオに加え、製品展開を進めていく計画である。

photo インプリアの概要(クリックで拡大)出典:JSRの発表資料

 JSRでは、今回の買収も含めEUVレジスト事業の2024年度までの見通しとしてCAGR(年平均成長率)50%以上を見込んでいる。また、インプリア単体でも2022年度以降の黒字化を達成する計画だ。

photo EUVレジスト事業の見通し(クリックで拡大)出典:JSRの発表資料

 今回の買収では、JSRが米国デラウェア州に買収を目的とした特別目的子会社を設立し、これをインプリアと合併させる。合併後の存続会社はインプリアとなる。今回、JSRとインプリアは、インプリアの事業価値を将来収益力に基づく総合評価として5億1400万ドル(約565億4000万円)としている。

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