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» 2021年10月13日 08時00分 公開

UV波長域対応で有効約813万画素のCMOSイメージセンサーを商品化組み込み開発ニュース

ソニーセミコンダクタソリューションズは、グローバルシャッター機能を備え、UV波長域に対応した有効約813万画素の2/3型CMOSイメージセンサー「IMX487」を、産業機器向けに商品化すると発表した。

[MONOist]

 ソニーセミコンダクタソリューションズは2021年9月29日、グローバルシャッター機能を備え、UV(紫外線)波長域に対応した有効約813万画素の2/3型CMOSイメージセンサー「IMX487」を、産業機器向けに商品化すると発表した。

キャプション UV波長域対応CMOSイメージセンサー「IMX487」 出所:ソニーセミコンダクタソリューションズ

 IMX487は、UV光透過率の高い材料をイメージセンサー上部のガラスや画素のオンチップレンズに採用したほか、UVに特化した独自構造をフォトダイオード周辺構造に用いている。これらにより、高感度性能と低ノイズを両立した。

 また、画素がUV光を効率良く取り込めるため、2.74μm角と微細な画素を採用可能になった。2/3型と小型ながら、有効約813万画素に達している。

 動体ゆがみのない高い撮像性能は、裏面照射型画素構造のグローバルシャッター機能を備えた同社独自の積層型CMOSイメージセンサー技術「Pregius S(プレジウス エス)」によるものだ。同構造によって配線レイアウトの自由度が高くなっており、10ビットモード時で193fpsの高速性を有する。

 波長は産業用途に適した200〜400nmに対応しており、半導体パターン欠陥検査、リサイクル現場でのプラスチック素材選別や透明樹脂の塗布状態検査、部品表面の微細な傷の検査、劣化した電線架線で生じる放電時のUV光検知などに適する。

キャプション アクリルとポリスチレンの選別。左:可視光環境、右:UV光環境 出所:ソニーセミコンダクタソリューションズ

 透明樹脂の塗布状態検査では、基板上に透明樹脂が塗布されていた場合、可視光では見えないが、UV光では黒く映る。未塗布であればUV光でも黒く映らないため、塗布状態を確認できる。

キャプション 透明樹脂の塗布状態検査。左:可視光環境、右:UV光環境。実線内が塗布部分、点線内が未塗布部分 出所:ソニーセミコンダクタソリューションズ

 パッケージは、20.0×16.8mmのセラミックLGAを採用した。2021年9月のサンプル出荷を予定している。

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